如何调整沟道结深以优化其性能?

如何调整沟道结深以优化其性能?

改变沟道结深是一个涉及半导体制造工艺的重要技术问题,它直接影响到器件的性能和可靠性,沟道结深是指半导体器件中,源区和漏区之间的沟道区域在垂直方向上的长度,通过调整沟道结深,可以优化器件的开关特性、阈值电压等关键参数,以下是关于如何改变沟道结深的详细分析:一、沟道结深的重要性1. 对器件性能的影响开关...
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