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gbu608芯片是怎么生产出来的
GBU608芯片的生产是一个复杂且精细的过程,涉及多个关键步骤,以下是对其生产流程的详细解析:
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1、硅片制备
提炼沙子:芯片制造从高纯度的沙子开始,主要成分是二氧化硅,这些沙子经过熔炼,得到纯度约为98%99%的冶炼级工业硅。
提纯多晶硅:冶炼级工业硅进一步提纯,通过氯化反应生成液态的硅烷,再经过蒸馏和化学还原工艺,得到极高纯度的多晶硅,多晶硅高温后成型,可使用直拉法(CZ法)或区熔法(FZ法)做成圆形晶棒。
2、制作晶圆
晶棒切割:晶棒从单晶炉出来后,首先要截断头尾,然后进行控制直径的滚磨,最后使用金刚石锯将其切成均匀厚度的薄片,晶棒的直径决定了晶圆的尺寸,常见的有150mm、200mm、300mm等。
晶圆表面抛光:切割后的晶圆需要进行加工,以使其像镜子一样光滑,这是因为刚切割后的晶圆表面有瑕疵且粗糙,可能会影响电路的精密度,需要倒角、研磨,然后使用抛光液和抛光设备将晶圆表面研磨光滑。
3、前端工艺
清洗:晶圆表面附着一些Al2O3和甘油混合液保护层,在制作前必须进行表面清洗,在每次的工艺处理过程中晶圆都会受到污染,所以也要进行清洗,半导体晶圆清洗工艺细分为RCA清洗法、稀释化学法、IMEC清洗法、超声波清洗法、气相清洗法、等离子清洗法等。
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氧化及沉积:在晶圆上生长出一层薄薄的氧化层,这可以通过热氧化或化学气相沉积等方法实现,氧化层的作用是保护晶圆表面并作为后续工艺的基础。
4、光刻工艺
涂覆光刻胶:在薄膜表面涂覆一层光刻胶,光刻胶是一种对光敏感的材料,其化学性质会因光照而改变。
曝光:将田字掩模板放置在光刻胶上方,然后将紫外线光透过掩模板照射到光刻胶上,掩模上的图案决定了哪些区域的光刻胶将被照射曝光。
显影/冲洗:曝光后的硅片被放入显影液中,显影液会溶解掉曝光区域的光刻胶(对于正性光刻胶)或未曝光区域的光刻胶(对于负性光刻胶),硅片被冲洗以去除显影液和溶解的光刻胶。
刻蚀:在显影后,硅片上的光刻胶图案作为掩膜,保护其下的硅片不被刻蚀,通过化学或物理方法,去除未被光刻胶保护的硅片表面材料,形成所需的图案。
去除光刻胶:刻蚀完成后,使用去胶剂去除剩余的光刻胶,以露出完整的硅片表面。
5、后端工艺
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离子注入:在硅晶圆的不同位置加入不同的杂质,不同杂质根据浓度/位置的不同就组成了场效应晶体管,这一过程需要精确控制掺杂量和位置,以确保芯片的性能和功能。
电镀与布线:在硅基表面涂上一层铜或其他导电材料,并通过光刻、刻蚀等动作形成导线和连接点,这一步是实现芯片内部各元件之间电气连接的关键步骤。
6、测试与封装
测试:对制造完成的芯片进行全面的功能和性能测试,确保它们符合设计规范并满足应用需求,这包括电气测试、逻辑测试、速度测试等多种类型的测试。
封装:经过测试合格的芯片被送入封装厂进行封装,封装是将芯片放入一个保护性的外壳中,并提供引脚以便与其他电子设备连接,封装形式有多种,如DIP、QFP、BGA等。
GBU608芯片的生产是一个高度复杂且精密的过程,涉及从原材料提取到最终产品封装的多个环节,每一步都需要严格的质量控制和技术精湛的操作来确保芯片的性能和可靠性。
作者:豆面本文地址:https://www.jerry.net.cn/articals/35292.html发布于 2025-02-26 08:43:33
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