氧化膜电阻是如何制作的？

摘要： 氧化膜电阻的制作是一个涉及多个步骤和精细工艺的过程，以下是对其制作方法的详细阐述：1、基体选择：通常选用陶瓷作为基体材料，因为陶瓷具有良好的绝缘性能、耐高温性能和化学稳定性，能够为...

氧化膜电阻的制作是一个涉及多个步骤和精细工艺的过程，以下是对其制作方法的详细阐述：

1、基体选择：通常选用陶瓷作为基体材料，因为陶瓷具有良好的绝缘性能、耐高温性能和化学稳定性，能够为氧化膜电阻提供稳定的支撑和保护。

2、皮膜形成

内层皮膜：通过真空直流溅射工艺，将靶材（如Si、Cr、Ni等元素的合金）在高真空环境下沉积到陶瓷基体上，形成内层皮膜，这一过程中，靶材原子在高能粒子的轰击下获得足够的能量，沉积到基体表面并逐渐形成均匀的薄膜。

外层皮膜：采用离子电源加射频溅射工艺，在已形成的内层皮膜上再沉积一层金属氧化膜作为外层皮膜，在射频溅射过程中，工作气体中的氧在离子电源的作用下充分电离，与靶材原子充分反应形成氧化物，从而得到致密的外层皮膜。

3、热处理：将带有双层皮膜的基体进行热处理，温度一般在300℃500℃之间，时间根据实际需要确定，热处理的目的是使内层皮膜和外层皮膜之间的结合更加紧密，提高电阻器的稳定性和性能，同时也有助于进一步改善皮膜的结构和性能。

4、后道工序：包括涂漆、压帽、焊引线、刻槽及涂外漆等工序，这些工序主要是为了对电阻器进行封装和保护，提高其可靠性和使用寿命，同时也便于安装和使用。

以下是两个关于氧化膜电阻的常见问题及解答：

1、氧化膜电阻的性能特点有哪些？

氧化膜电阻具有抗氧化性能好、额定功率高、额定电压高、过载能力强、浪涌和高温性能优异等特点，它还具有较高的精度和稳定性，能够在较宽的温度范围内保持稳定的电阻值。

2、氧化膜电阻的阻值范围一般是多少？

氧化膜电阻的阻值范围相对较窄，一般在1Ω至200KΩ之间，这是因为氧化膜的厚度和结构限制了其阻值的大小，难以像其他类型的电阻那样实现极低或极高的阻值。